技术编号：5267386
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1所述的光学微机电结构(MEMS)以及一种根据权利要求33所述的制造微机电结构(MEMS)的方法。背景技术 在本领域中已知几种不同类型的光学MEMS器件。与现有技术的光学MEMS器件，例如基于透射型微光闸的空间光调制器(SLM)有关的问题在于必须将单个微光闸的各种光学组件安置在相互之间非常明确的位置上，以便获得希望的光学特性，诸如通过该微光闸配置的光路的光学特性。即使光学组件之间相互定位的微小失准或者变化，也可能导致透射率降低。光...
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