技术编号：5267415
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请案的交叉参考本申请案主张2008年2月11日申请的第61/027，781号和2008年9月30日申 请的第61/101，632号美国临时申请案以及2008年9月30日申请的第12/M2，749号美国 申请案的优先权，所述申请案的揭示内容的全文以引用的方式并入本文中。背景技术微机电系统(MEMQ包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或 其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微机 械加工工艺来产生微机械...
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