技术编号：5267460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统。更明确地说，一些实施例涉及用于改进干涉式调制器的 微机电操作的系统和方法。背景技术机电系统包含具有电和机械元件、致动器、变换器、传感器、光学组件(例如镜面) 和电子器件的装置。机电系统可以多种标度来制造，包含(但不限于)微标度和纳米标度。 举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有介于约一微米到数百微米或以上的大小的 结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(举例来说，包含小于数百 纳米的大小)的结构。可使用沉...
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