技术编号：5267520
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及由MEMS (Micro Electro Mechanical Systems 微机电系统)技术制造的各种设备(MEMS设备)背景技术近来，由于MEMS设备开始搭载于便携式电话机等，MEMS设备的关注度急剧提高。作为MEMS设备的代表性产品，例如有加速度传感器或硅扬声器(硅麦克风Silicon Microphone)。加速度传感器例如具备利用加速度的作用而摇振的锤、与锤的摇振相连动而变形的膜片。膜片上设有压电电阻元件。而且，利用锤的摇振，膜片...
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