技术编号：5267554
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统(MEMS)压力敏感芯片领域，具体为一种MEMS压力敏 感芯片，本发明还涉及该芯片的制作方法。(二) 背景技术基于微电子机械系统(MEMS)的微机械敏感器件以其体积小、成本低、结构简单、 可与处理电路集成等优点得到广泛应用和迅速发展。 压力敏感芯片作为压力传感器的核心器件，是微电子机械系统(MEMS)中最早的 商业产品，压阻式敏感芯片由于具有输出信号大、信号处理简单等优点得到了越来越广泛 的应用，其对大气压力的检测有很多重要的应用，...
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