技术编号：5267630
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种SU-8纳米流体系统的制作方法，更具体地说是涉及利用光刻-压 印组合模板制作SU-8纳米流体系统的方法，属于微纳流体系统制作。背景技术近年来，纳米流体系统相关的基础和技术应用研究成为引人注目的前沿领域，它 一般定义为流体流动的通道一维以上的截面处于数百到几纳米的尺寸范围。流体在其中传 输具有特异的性质，能使得主导宏观和微米量级流体传输和分子行为的许多物理化学性质 发生改变。基于此系统的研究不仅突破了传统理论的一些重要概念，而且一些深入研究的 ...
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