技术编号：5267641
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS (微电子机械系统)制造技术，尤其涉及一种正压热成型制 备圆片级均勻尺寸玻璃微腔的方法。背景技术在MEMS制造，Pyrex7740玻璃(一种含有碱性离子的玻璃，Pyrex是 Corning公司的产品品牌)是一种重要的材料，它有着和Si材料相近的热膨胀系数，有着高 透光率和较高的强度，并且可以通过使用阳极键合工艺与Si衬底形成高强度的键合连接， 在键合表面产生了牢固的Si-O共价键，其强度甚至高于Si材料本身。由于这样的特性，使 得Py...
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