技术编号：5267656
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻装置，尤其涉及适合加工所谓“生物芯片”的装置，及一种器件制作方法。背景技术 光刻装置是一种向基底靶部提供需要的图形的装置。光刻装置可用于，例如，制作集成电路(IC)中，在此情况下，一构图部件，例如一掩膜，可被用于产生相应于IC某一层的电路图案，且该图样可被成像在具有一层辐射敏感材料(抗蚀剂)的基底(如硅晶片)靶部(如包括一个或很多电路小片)上。通常，单层基底将包含连续曝光的临近靶部的网络。已知光刻装置包括所谓的步进器，在其中，通过将整个图...
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