技术编号：5267673
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 本发明涉及气体传感器，更具体地说，本发明涉及纳米管传感器。在使用纳米管来做气体检测方面已做了一些尝试。本申请以参照方式结合2002年3月18日提交的申请号为10/100,400题为“碳纳米管传感器”的美国专利申请。发明内容在一定的气体环境中，通过在纳米管的连线或电极，将两个可移动指状或臂状支持件之间的沟桥接，以受控的方式现场生长纳米管。可以制成一个可制造的基于MEMS(MEMS-base)技术的纳米管传感器。附图说明图1a和1b表示支持纳米管的传...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。