技术编号：5267714
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械模具制作技术，特别是涉及电铸法制作低摩擦系数复合材料的微电子机械模具。背景技术微电子机械是一种高度集成、高度智能化的尺寸在纳米到毫米量级的机械。现已发展到能够在一个芯片上生产大量微电子机械。在工业、农业、国防、科学有广泛的应用前景。目前用于制作微电子机械的微细加工技术有多种，但就大规模生产与高度适应性而言，荷兰《微电子工程》(Microelectronic Engineering，Vol 4，1986，pp35-56)报道的德国卡尔斯鲁...
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