技术编号：5267715
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了一种，驱动器采用双金属膜复合结构并通过电化学原理工作，属于自动控制技术或者微机电系统。微驱动器是微机电系统(MEMS)的核心，八十年术第一个静电型微马达(微驱动器)诞生引起轰动，此后基于各种不同驱动机制的微驱动器相继出现，除了传统的电磁和静电驱动之外，还有压电、形状记忆、热气动、电致伸缩、磁致伸缩以及电化学效应等驱动的微驱动器。尽管如此，微驱动器的现状与实用化的要求尚有一定差距，探索更有效的新驱动机制仍然是其寻求突破的重要方向之一。目前，驱动力...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。