技术编号：5267790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器，具体涉及一种新型的快速响应的声表面波气体传感 器结构及其制备方法。背景技术自20世纪末人类进入信息社会以来，人们的一切活动都是以信息获取与信息交 换为中心，作为信息技术的基础与三大支柱之一的传感器技术也进入高速发展的新时期。1965年美国White和Voltmer发明了能在压电晶体材料表面上激励表面波的金 属叉指换能器(White R M, Voltmer F M. Appl. Phys. Lett.，1965，7 314)，导致基于叉指...
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