压电双晶片式mems能量采集器及其制备方法技术资料下载

技术编号:5267816

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本发明涉及的是一种微机电的装置及其制备方法,具体是一种压电双晶 片式MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)能量采集器及其制备方法。背景技术传感器/驱动器网络、嵌入式系统、RFID (射频识别)、无线通讯等技术发展迅速, 这些技术的发展要求相应元器件的电能供应部件具有体积小、寿命长甚至无需更换、无人 看管等特点,尽管电池的储能密度和使用寿命不断得以提高,传统电池仍具有一些无法改 变的供能缺陷体积大,质量大,...
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