技术编号：5267820
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属微细加工，涉及一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构 的装置和方法。背景技术纳米结构或者图形的微细加工是纳电子和纳器件制作的基础，目前纳米结构的制 作方法有多种，主要包括极紫外光光刻EUVL、电子束直写光刻、离子束投影光刻、X射线光 亥IJ、扫描探针显微加工、分子自组装、蘸笔光刻、微接触印刷、纳米压印光刻等。但这些技术 通常工艺复杂、效率较低、设备昂贵。例如电子束直写光刻虽然具有非常高的精度，但生产 效率非常低。纳米压印光刻NIL虽然具有高分辨率...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。