技术编号：5267823
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS传感器(Micro Electro Mechanical Sensor 微机电传感 器)、电子设备等。背景技术例如，将此种MEMS传感器作为CMOS集成电路一体型硅MEMS加速度传感器，正在 积极地推进小型 低成本化。MEMS传感器的应用申请和市场正在扩大。成为主流的器件方 式大部分是用晶片工艺以后的安装工艺使将物理量转换为电信号进行输出处理的IC芯片 成为1个封装。在最终的小型化·低成本化中，要求一种用晶片工艺一体形成传感器芯片 和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。