技术编号：5267826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了，更确切地说涉及一种利用MEMS 等工艺制作的体硅谐振器，属于体硅微机械谐振器加工及微细加工。背景技术时钟芯片作为电路系统中的时间基准源，在电路系统中有着重要的作用。传统的 时钟芯片一般采用石英晶振作为谐振器产生信号波形。但石英晶振一般是采用切割工艺 制作，使得其体积很难减小，从而阻碍了电路系统的微型化，此外石英晶振也无法和电路系 统集成制作，提高了制作成本。近年来，由于微加工技术的发展，MEMS微机械谐振器得到 很大的发展。MEMS谐振器具有...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。