技术编号：5267827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器，属于微电子机械系统领 域。背景技术微机电系统的发展，极大地推动了传感器技术的进步，实现了加速度传感器的微 型化。利用微机械加工工艺制作的电容式加速度传感器在测量精度、温度特性、利用静电力 进行闭环测量和自检及易与电子线路集成等方面具有的优点，可广泛应用于石油勘探、地 震监测、医疗仪器、航空航天、武器装备等许多领域，具有广阔的市场应用前景。常见的微机械加速度传感器按敏感原理分主要有压阻式、压电式和电容式三种。...
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