技术编号：5267860
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems，MEMS)光开关 ，尤其涉及一种无可动部件的。背景技术采用MEMS技术实现的光开关具有体积小、重量轻、能耗低、性能稳定等优点。随 着光纤通讯技术和密集波分复用系统的飞速发展，MEMS可变光衰减器作为重要的光波导器 件，得到了越来越广泛的应用。目前有关MEMS光衰减器的研究已有很多报道。适用于振动环境中对器件可靠性要求高的场合的可变光衰减器件是当前MEMS光 开关技术...
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