技术编号：5267861
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子电路芯片及微电子机械系统(Micro ElectroMechanical systems, MEMS)可动器件，尤其涉及一种。背景技术近年来，随着半导体加工技术的日益提高，MEMS得到了快速发展，特别是具有高性 能、高集成和高智能等特点的光MEMS应用日趋活跃，逐步涵盖了全光通讯、图像显示、惯性 检测、红外传感器、图像探测器、生物检测等重要领域。在光MEMS器件中，高精度关键部件对光进行精密机械运动操作发挥着至关重要 的作用。目前，光MEM...
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