技术编号：5267869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统(MicroElectrical Mechanical System，简称 MEMS)开关，尤其涉及一种电容式MEMS开关及其制造方法。背景技术电容式(MEMS)开关具备与传统的固态开关器件，如正_本-负 (Positive-Intrinsic-Negative，简称PIN)型半导体二极管及各种场效应(Field Effect Transistors，简称FET)相竞争的能力。使用电容式MEMS开关在性能和成本上均具有一 定的优势，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。