技术编号：5267912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术压敏传感器是将压力转换为电信号的一种器件。一般可用体微机械加工或表面微机械加工两种方法来制造薄膜，然后在薄膜中嵌入压阻器就可以测量压力所引起的应力， 同时，电容用来测量薄膜的挠度。采用表面微机械加工技术制作带真空腔结构的压敏传感器方法，在晶圆的表面刻蚀出一个空腔(cavity)作为传感薄膜的伸缩空间。在空腔形成之后向空腔填充牺牲层，其中的牺牲层淀积工艺会保持因空腔刻蚀形成的图形间的高低差( 印-height)。经CMP平坦化之后在...
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