技术编号：5267920
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电结构，特别涉及一种。背景技术压力感测器是利用压力感测元件来测知其承受气体或液体压力的数值。随着微机电系统技术(MEMS)蓬勃发展，以微机电元件制作压力感测器是目前较为普遍的方法。如图2所示，现有压力感测器封装件，大都采用LGA封装结构，具体而言，该压力感测器封装件包括基板30 ；接置于该基板30上的微机电元件31 ；设于该微机电元件31上的感测薄膜32，且该感测薄膜32与微机电元件31间形成一腔室35 ；电性连接该基板30与该感测薄膜3...
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