技术编号：5268002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电系统的装置，具体是一种集成偏置线圈式巨 磁阻抗效应磁敏传感器。背景技术在磁场测量领域，电子导航，以及汽车电子传感器领域如汽车轮速传感器，以及位 置传感器如磁编码器等，以及电流传感器，以及生物医学领域对于磁性纳米粒子的探测等 领域，都需要广泛应用到磁敏传感器，通过将磁场信号转变成电信号实现磁场强度，方向， 速度，位置，电流，以及生物分子信息的探测。目前所用的各种磁敏传感器包括霍尔效应 Hall效应传感器，磁通门传感器，巨磁阻GMR传感...
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