一种纳米氮化铝粉体的制备方法技术资料下载

技术编号:5268014

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本发明涉及,属于材料科学。 背景技术氮化铝陶瓷具有高的热导率、与硅相匹配的线膨胀系数、低的介电常数、优良的电 绝缘性能、耐腐蚀以及环保无毒等特点,已经替代氧化铝与氧化铍成为目前超大规模集成 电路基板的首选材料,在现代电子与微电子等高新得到了广泛应用。然而,氮化铝 属于共价化合物,其自扩散系数小,导致其难以烧结致密。为降低氮化铝陶瓷的烧结温度, 研究者大多通过添加合适的烧结助剂,利用烧结助剂与氮化铝表面的氧化铝或者氮化铝本 身反应生成低共熔物,再以液相烧结来...
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