硅微机械压力开关、制作方法及其应用的制作方法技术资料下载

技术编号:5268067

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本发明涉及一种硅微机械压力开关、制作方法及其应用,更确切地说是一种基于MEMS (Micro Electro-Mechanical System)技术的微机械压力开关, 当轮胎爆胎后,该开关能迅速闭合,从而接通轮胎制动装置电路,使轮胎快 速制动。属微电子机械系统(MEMS)领域。背景技术据公安部统计,在中国高速公路上发生的交通事故有70%是由于爆胎引 起的,而在美国这一比例则高达80%。目前用于爆胎事故的代表性装置为胎 压监视系统(TPMS)和自支持轮胎(...
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