技术编号：5268074
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电的陀螺仪，具体是一种可测量任意方向角 速度的气体陀螺仪。 背景技术从上世纪末开始，基于热对流原理的微陀螺仪受到广泛重视，它利用角速 度引起的哥氏力导致工作射流偏转，使其与一对或多对对称布置的热敏器件对 流传热存在差异，通过检测热敏器件温差来获得角速度信息。经对现有技术的文献检索发现，朴林华等人在《压电与声光》2005年6月 第27巻第3期上发表的"压电射流角速度传感器敏感机理的有限元分析"，该 文中提到一种基于热流原理的气体陀螺仪。具体...
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