技术编号：5268081
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统的驱动器制作方法，尤其涉及到一种微机械 大角度扭转微镜面驱动器制作方法。属于光电子通信器件领域。背景技术微机电系统(MEMS)是基于微细加工技术发展起来的集机械、电子等 多学科交叉的一门新兴科学技术，随着微机电系统技术的不断快速发展，基 于微机电系统技术制作的光学器件也得到广泛的应用，在光通信、光显示等 领域广泛使用微反射镜面以控制光信号的传输与显示，例如MEMS光开关、 光衰减器、光扫描器、DMD显示器等，其中微镜面驱动器是其核心...
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