技术编号：5268149
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种NEMS结构的制作方法，尤其是一种基于SOI材料的复杂 NEMS结构的制作方法。 背景技术NEMS(nano-electro-mechanical-system,即纳米机电系统)技术是90年代 末基于MEMS (micro-electro-mechanical-system,即微米机电系统)技术而提出 的一个新概念，是指系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机 电一体的系统。 一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的 ...
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