技术编号：5268170
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及刻蚀制作具有高深度通道的玻璃微流控芯片或刻蚀制作其它 玻璃微流控器件时起保护作用的保护膜，特别涉及在刻蚀制作玻璃微流控芯 片及刻蚀制作其它玻璃微流控器件的过程中，通过增加含有线性酚醛树脂的 正性光刻胶的交联度而提出的对玻璃微流控芯片刻蚀时起保护作用的保护膜 的制备方法。背景技术玻璃具有良好的电渗性质和优良的光学性能，检测时产生的背景荧光远 远小于高分子聚合物，其表面性质，例如湿润能力、表面吸附和表面反应性 等，都有利于使用不同的化学方法对其进行表...
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