技术编号：5268282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电，具体涉及利用大马士革铜制程工艺制造红外探测器 焦平面阵列的工艺方法。背景技术微机电(MEMS)产品已广泛用于人们的日常生活中，包括汽车安全气囊加速度计、 汽车和医用压力传感器、微麦克风、喷墨打印磁头及非制冷非红外探测器等。MEMS产品一般 包括MEMS结构和CMOS处理电路部分。由于MEMS与CMOS工艺兼容性比较差，故而早期很 难实现大规模的生产。近年来由于MEMS产品的市场需求逐渐扩大，CM0S-MEMS的概念逐渐 被人提出。CM0S...
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