一种用于制备纳米线阵列的模板的制造方法技术资料下载

技术编号:5268294

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本发明属于新型纳米结构材料制备与器件应用,具体涉及一种用于制备纳米线阵列的模板及其制造技术。 背景技术在过去十几年里,纳米技术得到了飞速发展。人们已经能够利用多种制备技术如 化学气相沉积、水热合成、热蒸发等,来制造多种材料如金属、半导体、陶瓷、聚合物的纳米 线、纳米管等多种纳米结构。然而迄今为止,要快速、低成本、可控地制备排列有序的低维结 构材料,仍然是个具有挑战性的课题。虽然已有精密的技术工艺能够制造出纳米尺度的结 构图案,但在绝大多数情况下,这些技术要...
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