技术编号：5268304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种光开关，特别是一种电磁型微驱动器驱动的微光开关，属于光开关领域。背景技术近年来用微机电系统(MEMS)技术制作的微机械光开关具有插入损耗低、隔离度高等机械式光开关的优点，同时体积很小(毫米数量级或更小)，制作工艺与大规模集成电路的制作工艺相兼容，易于大批量生产以及光集成或光电集成，成本低，重复性好。特别是它的开关时间可大为缩短，达到微秒级，已成为光开关领域新的发展热点。经文献检索发现，美国专利US5923798，名称为Fiber-Opti...
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