技术编号：5268310
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及原子分辨率存储(ARS)系统，尤其涉及采用硒化晶片接合的用于ARS系统的加工流程。背景ARS系统提供一种存储密度大于每平方英寸1兆兆位(1000G)的指甲盖大小的装置。ARS技术建立在原子探针显微术发展的基础上，其中像一个原子那样小的探针场发射器尖扫描材料的表面，从而产生精确在几个纳米内的图像。探针存储技术可以使用原子大小的探针场发射器尖的阵列，用于在存储介质上的点读写数据。ARS系统一般包括3个接合的硅(Si)晶片，即尖晶片，也称为发射器晶片...
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