技术编号：5268328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及接触探头，尤其涉及但不限于与铁电体存储器一起使用的接触探头。背景技术 微型悬臂(microcantilever)在微型机械设备中被用作接触指或支承针。微型悬臂通常具有1到100微米范围内的尺寸，并通过MEMS(微型机电系统)或MST(微型系统技术)方法制成。微型悬臂的一个问题是梁末端的位置和角度倾向于有一些变化，且该可变性被视为是因为在制造期间加工条件的难以控制的变化。该可变性限制了使用微型悬臂的设备的制造精密度。需要一种方法和装置来减小微型...
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