技术编号：5268331
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，更特别地，涉及一种工艺中可实 时进行晶片级测试，并且据以调整微扭转轴特性的方法。背景技术微机电(micro-electromechanical system, MEMS)技术是一种高度整合电 子电路与机械等的新兴科技，并已广泛应用于制作各种具有电子与机械双重 特性的元件，例如微感应器、微致动器、微马达与光开关元件等。与半导体 元件相比，微机电元件由于常具有特殊的机械结构，因此制作时若直接利用 标准半导体工艺，所形成的结构往往精密度不佳，而无...
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