技术编号：5268332
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS)，尤其涉及一种三角形结 构的微悬臂梁传感器及其制作方法，特别是关于一种应用于生物、化学传 感中的带有方形反光板的三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法。io背景技术微悬臂梁结构是一种最简单的微机电系统(MEMS)，它易于进行微 加工以及大量生产。近年来，将高灵敏度的微悬臂梁技术应用于生物、化 学的实时探测成为传感器领域的研究热点。这类传感器可以在气态或者液态条件下探测微量生化分子的存在。例15如空气中的有机气体、有害气体、芳...
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