技术编号：5268346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种MEMS微制造的器件，具体的说是一种用于直线推进的多弧结构的改性SU8电热微执行器。背景技术 微执行器是微机电系统(MEMS)的关键器件之一。目前基于各种原理的微执行器在国内外得到了广泛的研究，应用较多的微致动方式有静电致动、压电致动、电磁致动、热致动和形状记忆合金致动等，采用电或磁的致动方式存在制作工艺复杂、驱动电压过高、驱动力非线性、驱动力过小等等不足。相对而言，热驱动方式因为几何尺寸小，工艺简单而具有较强的吸引力，而且它还有驱动电压...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。