技术编号：5268375
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，更确切地说涉及一种在(100)SOI硅片上制作单晶硅纳米梁的加工方法，梁的横截面为直角三角形，三个侧面的宽度均小于100nm。属微米/纳米加工领域。背景技术 NEMS(Nano-Electro-Mechanical-System，纳机电系统)技术是在MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System，微机电系统)技术上发展起来的，其特点是关键部件的特征尺度小于100nm。它是纳米技术的重要组成部分。而纳米梁作为纳机电谐...
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