技术编号：5268390
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微加工技术和微型检测器件范围，特别涉及一种采用微加工技术的在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法。背景技术 近年来，基于微悬臂梁结构的微机械传感器成为一个广泛关注的研究热点。该类传感器具有微型化、成本低、灵敏度高和可批量生产等优点，在物理、化学和生物传感领域有广阔的应用前景。该类传感器的基本工作原理是将质量、电场、磁场、温度和应力等参量转换成为微悬臂梁的弯曲或谐振频率的变化，从而实现对微观表面形貌、磁场、加速度、化学分子的结合、生物分子的结...
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