凹凸图案形成方法及信息记录介质制造方法技术资料下载

技术编号:5268393

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本发明涉及一种将压模压在形成于基材上的树脂层上,在基材上形成凹凸图案的凹凸图案形成方法,及使用依据该凹凸图案形成方法形成的凹凸图案制造信息记录介质的信息记录介质制造方法。背景技术 作为这种凹凸图案形成方法,在美国专利6814898号说明书中公开了压印法(imprint),通过将形成有凹凸图案的压模(金属压模)压在基材(玻璃基板)上的树脂层(抗蚀剂层)上,将压模的凹凸图案转印到树脂层上,在基材上形成凹凸图案。在该凹凸图案形成方法中,首先,如该说明书的图1A所...
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