技术编号：5268415
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及驱动由弹性支承部件支承的微小可动部的微机械结构体系 统，特别是涉及适于在可动部具有光反射面的微镜、以及将该微镜排列成 二维阵列形状以能够独立驱动的微镜器件的微机械结构体系统及其制造方 法。背景技术近年来，面向实现补偿光学领域中的光波阵面的控制、或对光束进行 反射从而使其入射到位于规定位置上的光电元件或光纤上的机械式光开关，提出了使用MEMS (Micro Electro Mechanical System,微机电系统) 技术的极小型微镜器件。在微...
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