技术编号：5268426
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域涉及微机电系统(microelectromechanical system, MEMS)。更具体来 说，本发明的领域涉及干涉式调制器和制造具有用于移动层的支撑件的此种干涉式调制 器的方法。背景技术微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和 /或其它蚀刻去除衬底和/或己沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的 微加工工艺来产生微机械元件。 一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所 使用，术语干涉式...
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