技术编号：5268434
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有经配置以使应力相关形变最小的支撑结构的MEMS装置及其制造方法相关申请案的交叉参者本申请案根据35 U.S.C. § 119(e)主张2005年8月19日申请的第60/710,019号美国临时申请案的优先权，所述临时申请案全文以引用的方式并入本文中。 无背景技术微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/ 或其它蚀刻去除衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的 微加工工艺来产生微机械元件。 一种类...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。