技术编号：5268442
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种设有间隔的微型系统的制造方法。本发明还涉及 这种微型系统。本发明也涉及包括根据本发明的微型系统的箔堆。本 发明还涉及包括根据本发明的微型系统的电子设备。本发明也涉及这 种电子设备的用途。背景技术这样的方法和微型系统已见于Ramadoss， R等人的下列出版物 "Fabrication, As.sembly， and Testing of RF MEMS Capacitive Switches Using Flexible'Printed ...
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