技术编号：5268448
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造具有间隔的MEMS电容器麦克风的方法。本 发明还涉及这种MEMS电容器麦克风。本发明还涉及包括根据本发明 的这种MEMS电容器麦克风的箔片叠层。本发明还涉及包括根据本发 明的MEMS电容器麦克风的电子设备。本发明还涉及这种电子设备的 使用。背景技术US5490220公开了一种固态电容器和麦克风设备以及制造这种设 备的方法。该方法包括数个沉积和图形化步骤，用于处理平面型硅片 上的功能传导层和绝缘层。此外需要对硅片进行背面蚀刻，以便断开 电容...
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