技术编号：5268462
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般而言涉及麦克风，更特别地，本发明涉及用于形成麦 克风的方法。背景技术一些过程通过将膜材料沉积到最终通过湿蚀刻处理而去除的牺牲材料上而形成诸如MEMS麦克风的麦克风。然而，当液体蚀刻剂的表 面张力使得膜粘到膜的对应背板上时，产生了一些问题。参见美国专 利5,314,572作为所讨论的与惯性传感器一起使用的一种方法的示例。发明内容根据本发明的一个方面， 一种形成麦克风的方法形成背板，并在 湿蚀刻可去除牺牲层的至少一部分上形成柔性膜。该方法添加湿蚀刻 ...
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