技术编号：5268470
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对基于单晶硅膜片、在垂直方向上实现直接集成的 微电子机械结构，实现该垂直集成微电子机械结构的方法以及基于该垂直集成微电子机械结构实现的应用系统，属于微电子机械系统(MEMS)。背景技术微电子机械系统(MEMS)被认为是一种将改变整个工业和带来下一 次技术革命的新技术。它可以将机械构件、光学系统、驱动部件、电控 系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采 集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外 部的指...
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