技术编号：5268652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种微机电装置，其包含至少一基板、一电极、以及一振膜。其中，电极设置于基板上且具有多个孔位。振膜设置于电极上方且平行于电极，且与电极形成一电容式传感器，振膜上方及／或下方具有多个突肋，多个突肋对应于多个孔位而错位设置且不接触电极。此外，本发明亦提供此微机电装置的一制作方法。专利说明[0001]本发明涉及一种微机电装置，特别是利用其中振膜上多个突肋以提升振膜平面度，进而提升感测外来声压效果的微机电装置。背景技术[0002]微机电装置因体积小、灵敏度...
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