技术编号：5268782
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种芯片键合辅助加压装置，特别是涉及一种特别针对常温键合成功 率低和键合强度不高的微流控芯片设计的一种芯片常温键合辅助加压装置，属于微流控芯 片加工。背景技术微全分析系统(MicroTotal Analysis System, μ-TAS)是 20 世纪 90 年代中期 以来影响最深远的重大科技发展之一，是融微电子学、生物学、物理学、化学、计算机科学为 一体的高度交叉的新技术。通过化学分析设备的微型化与集成化，最大限度地把分析实验 室的功能转移到...
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