技术编号：5269262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及加速度测量，公开了一种柔性电容式加速度传感器，包括柔性基板；上电极，设于所述柔性基板的上表面；下电极，设于所述柔性基板的下表面；连接层，其包括上连接层和下连接层，所述上连接层设于所述柔性基板和上电极之间并连接所述柔性基板和上电极，所述下连接层设于所述柔性基板和下电极之间并连接所述柔性基板和下电极。本发明还公开了一种用于制造上述柔性电容式加速度传感器方法。本发明将MEMS器件直接制作在柔性基板上，工艺和结构简单，成本较低，所制得的加速度传感器可以应...
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